| Produkt |
liefernder Prozess |
Bedarf |
|
Transport mit |
Länge |
| Hauptinput |
| Silizium |
Fabrik\Silizium-Wafer-multi-DE-2005 |
|
|
| Hilfsmaterial |
| Wasser (Stoff) |
Xtra-generisch\Wasser |
1,51000*103 |
kg/kg |
| Wasser (Stoff) |
Chem-anorg\destilliertes Wasser |
208,00000 |
kg/kg |
| Phosphorpaste |
Chem-Anorg\Phosphorpaste-2005 |
2,1900*10-3 |
kg/kg |
| Metallisierungspaste |
Chem-Anorg\Metallisierungspaste-2005 |
113,00*10-3 |
kg/kg |
| EPS |
Kunststoff\EPS-DE-2005 |
614,00*10-6 |
kg/kg |
| N2 (gasförmig) |
Xtra-generisch\N2 (gasförmig) |
2,7900000 |
kg/kg |
| O2 (gasförmig) |
Xtra-generisch\O2 (gasförmig) |
153,00*10-3 |
kg/kg |
| Argon |
Xtra-generisch\Argon-DE-2005 |
38,700*10-3 |
kg/kg |
| NH3 |
Chem-Anorg\Ammoniak-DE-2005 |
10,100*10-3 |
kg/kg |
| Silan (hochrein) |
Chem-Anorg\Silan (hochrein) |
1,8200*10-3 |
kg/kg |
| CF4 (hochrein) |
Chem-Org\CF4 (hochrein) |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
| C2F6 (hochrein) |
Chem-Org\C2F6 (hochrein) |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
| NF3 (hochrein) |
Chem-Anorg\NF3 (hochrein)-2005 |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
| SF6 (hochrein) |
Chem-Anorg\SF6 (hochrein) |
1,2000*10-3 |
kg/kg |
| NaOH |
Chem-Anorg\NaOH 50 %(Amal.)-DE-2000 |
493,00*10-3 |
kg/kg |
| Essigsäure (hochrein) |
Chem-Org\Essigsäure (hochrein) |
4,4585*10-3 |
kg/kg |
| HCl |
Xtra-Rest\HCl |
71,732*10-3 |
kg/kg |
| Flußsäure (hochrein) |
Chem-Anorg\Flußsäure (hochrein) |
29,706*10-3 |
kg/kg |
| Salpetersäure |
Chem-Anorg\Salpetersäure-2000 |
84,000*10-3 |
kg/kg |
| POCl3 (hochrein) |
Chem-Anorg\POCl3 (hochrein) |
341,43*10-6 |
kg/kg |
| Phosphorsäure |
Chem-Anorg\Phosphorsäure-DE-2000 |
12,008*10-3 |
kg/kg |
| Natriumsilikat (hochrein) |
Chem-Anorg\Natriumsilikat (hochrein) |
117,99*10-3 |
kg/kg |
| CaCl2 (hochrein) |
Chem-Anorg\CaCl2 (hochrein) |
33,935*10-3 |
kg/kg |
| 2-Propanol (hochrein) |
Chem-Org\2-Propanol (hochrein) |
124,25*10-3 |
kg/kg |
| Ethanol (hochrein) |
Chem-Org\Ethanol (hochrein) |
1,0055*10-3 |
kg/kg |
| Hilfsenergie |
| Elektrizität |
Netz-el-DE-Verteilung-MS-2005 |
56,900*10-3 |
MWh/kg |
| Prozesswärme |
Gas-Kessel-DE-2005 (Endenergie) |
1,9900*10-3 |
MWh/kg |
| Prozesswärme |
Öl-leicht-Kessel-DE-2005 (Endenergie) |
486,00*10-6 |
MWh/kg |
| Hauptoutput |
| Silizium |